Les cavités supraconductrices constituent l’un des éléments clé des accélérateurs de particule utilisés pour de multiples applications : physique des hautes énergies, source de lumière pour la caractérisation, physique nucléaire et application médicales. Les futurs accélérateurs de particule nécessiteront des performances des cavités supraconductrices nettement supérieures à celles atteignable actuellement. Cette augmentation des performances nécessite des méthodes de caractérisation et une compréhension de plus en plus fine des interactions entre les propriétés supraconductrices et les défauts présents dans une épaisseur de quelques centaines de nm en surface. Dans la première partie je présenterai les résultats que nous avons obtenus avec la méthode de spectroscopie tunnel couplées à d'autre techniques de caractérisation structurale/chimique ainsi que leurs corrélations avec les mesures RF des performances des cavités supraconductrices. Dans une deuxième partie j'exposerais l'approche des multicouches que nous avons choisis d'étudier pour l'amélioration des performances des cavités supraconductrices et les résultats préliminaires obtenus avec la technique de déposition par couches atomique dite ALD.