Département de Physique Nucléaire

Les détecteurs modernes, nécessitent souvent, pour assurer leurs performances ou garantir leur fiabilité, des phases de réalisation ou d’intégration dans un environnement propre et contrôlé. Pour cela, le DEDIP dispose d’environ une cinquantaine de m2 de zones grises permettant le travail sous flux laminaire mais surtout de deux salles propres :

• Une salle de 50 m2, dite « MEGACAM » (du nom du premier projet utilisateur) dont 30m2 en ISO8, 25m2 en ISO7 et 5m2 en ISO5 et équipée d’un sas matériel. La zone ISO8 abrite la machine à bonding CAPTINNOV. La zone ISO5 est principalement utilisée pour l’intégration de capteurs CCD, nécessitant des précisions géométriques de quelques micromètres. Pour la réalisation de ces opérations, elle abrite en particulier une machine de métrologie optique « VOYAGER », de précision micrométrique utilisable pour des pièces atteignant 150x300x150mm et compatible avec tout type de surface.