Contexte
Assemblage des cavités après rinçage à haute pression.
Salle blanche en surpression, compartimentée en 2 classes ISO (ISO7 et ISO5) et salle de rinçage à haute pression (HPR) attenante de classe ISO5.
Moyens techniques
- h = 2.85 m pour les compartiments ISO5 et ISO7,
- h = 3.5 m pour la salle de rinçage à haute pression.
- c = 1600 kg/m2 pour le compartiment de classe ISO5 et la salle de rinçage à haute pression,
- c = 1300 kg/m2 pour la zone d’accès à la salle blanche.
- réseau hélium et argon (alimentation par bouteille, P = 200 bar filtré),
- air comprimé sur réseau (P = 6 bar filtré),
- eau ultrapure.
Le compartiment de classe ISO7 est utilisé pour préparer les pièces avant leur entrée en salle blanche de classe ISO5. Il est possible d'effectuer un rinçage à l'eau pure dans ce compartiment.
La salle blanche est équipée de groupes de pompage, d'unités de filtration terminale (FFU) et d’une salle de rinçage à haute pression (P = 100 bar) à l’eau pure ultrafiltrée.
- Centrale de traitement d'air (f = 33 500 m3/h), avec groupe de production frigorifique de puissance P = 179 kW,
- Installation de traitement d’eau pure et ultrapure (résistivité r ≈ 17.6 MΩ, température T ≈ 17 °C),
- Zone de contrôle (contrôle de différents paramètres comme la vitesse de rotation des ventilateurs des FFU...).
Etapes techniques, expertise
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