Les salles blanches

Les détecteurs modernes, nécessitent souvent, pour assurer leurs performances ou garantir leur fiabilité, des phases de réalisation ou d’intégration dans un environnement propre et contrôlé. Pour cela, le DEDIP dispose d’environ une cinquantaine de m2 de zones grises permettant le travail sous flux laminaire mais surtout de deux salles propres :

  • Une salle de 50 m2, dite « MEGACAM » (du nom du premier projet utilisateur) dont 30m2 en ISO8, 25m2 en ISO7 et 5m2 en ISO5 et équipée d’un sas matériel. La zone ISO8 abrite la machine à bonding CAPTINNOV. La zone ISO5 est principalement utilisée pour l’intégration de capteurs CCD, nécessitant des précisions géométriques de quelques micromètres. Pour la réalisation de ces opérations, elle abrite en particulier une machine de métrologie optique « VOYAGER », de précision micrométrique utilisable pour des pièces atteignant 150x300x150mm et compatible avec tout type de surface.
 
Gauche : Réalisation d’un détecteur Micromegas Cylindrique pour l’expérience CLAS12 au sein
de la zone ISO7 de la salle « MEGACAM ». Droite : Intégration d’un détecteur pour un tomographe
muon dans la zone ISO8 (extrait du reportage «Kheops, mystérieuses découvertes » diffusé sur France 5)
 
 Lien vers la page de la salle blanche CICLAD
  • La salle propre CICLAD, cofinancée par un programme Sésame de la région Ile de France, mise en service en 2016, dont la surface totale est de 130m2 en classe ISO7 qui comprend un sas matériel et un sas de lavage, et dont la température et l’hygrométrie sont régulées très finement. Grace à un système de flux laminaires, elle offre, pour les opérations les plus critiques, une propreté ISO5 sur environ un tiers de sa surface. Equipée d’un pont roulant 1 tonne et de deux marbres de précision munis de portiques en carbure de silicium instrumentés par des systèmes de métrologie mécanique et de système d’encollage automatiques, elle permet la réalisation et la caractérisation de modules de détection de grand volumes nécessitant une grande précision mécanique (dizaines de micromètres), comme les modules Micromegas du projet ATLAS/NSW.
 
Figure 5: Equipes construisant des panneaux de détection pour le projet
ATLAS/NSW sur les deux marbres instrumentés dans la salle blanche
CICLAD au sein du centre Saclay

Contact : Eric Delagnes , email : Eric.DELAGNES@cea.fr

 

Maj : 19/06/2018 (4338)

 

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